超高真空窓・極高真空窓
熱歪みのない窓。高精度計測・レーザー導入用
日本、アメリカ、EU、ロシア、中国、韓国の6極で推進中の国際熱核融合実験炉(ITER)の計測用超高真空窓としての過酷採用基準を世界唯一クリア。超高真空窓は真空容器内を観察(計測)するための窓で、各種の結晶窓材および石英窓材等を弾性構造の金属に圧着してマウントする特殊シール技術により、超高真空領域までの使用が可能です。
※(独)日本原子力研究開発機構と共同開発 PAT・P
装着窓材種別(各種コート及び高精度研磨可能)
CaF2、MgF2、Lif、Ge、Si、KRS-5、BK7、水晶、合成石英、鉛ガラス、サファイア等
標準品
| 型番 |
フランジ外径 |
フランジ厚さ |
窓有効径 |
≒レングス |
| TF34 |
34 |
10.0 |
12 |
3 |
| TF70 |
70 |
12.7 |
33 |
4 |
| TF70W |
70 |
18.5 |
33 |
9 |
| TF114 |
114 |
17.5 |
60 |
6 |
| TF152 |
152 |
20.0 |
100 |
7 |
| TF203 |
203 |
22.0 |
140 |
8 |
※レングスは窓材各種に異なる場合があります。
※製品改良の為、予告なく仕様・形状・寸法を変更する場合があります。
特色
- 超大径も製作可能です。
- 窓に熱歪み無し
- 熱的組立工程無しの為、歪みの無い高精度透過波長が得られます。
- 面精度維持
- 例、λ/10窓を組立後、外周を除く≒80％の面積でλ/10を維持できます。(標準品は両面光学研磨です)
- ARコート等
- 窓単体でコート後、熱的工程無しで組立の為、斑がありません。透過波長あるいは透過波長帯域及びご希望透過率をお知らせ下さい。
- 割れ防止構造
- 窓は弾性保持の為、不均等ボルト締めでも割れやリークが起き難い。
- 耐圧構造
- 真空側がプラス圧になってもリークや窓の外れ等が無い構造です。
- 非磁性、非放射化
- 磁場を乱さず高放射線環境下で最適使用できます。(標準フランジ：SUS304L、特注品：SUS316L等)
- 耐放射線性
- ガンマー線1×106レントゲン/hで合計6.3×109以上。(但し、ZnSeの場合)
- 耐衝撃性
- XYZ方向30G/3000サイクル以上。
- Heリーク量
- ＜1×10-10Pam3/sec 実績として殆ど＜0.1×10-10Pam3/secです。
- ベーク温度
- ＜200℃ 但し、メカニカルシールの為、サイズ及び窓材種別によって異なるものがあります。お問い合わせ下さい。
- 接続フランジ
- CF規格フランジ
- 透過波長帯域
- 紫外線～可視光～赤外域の真空導入を可能にする各種の窓を用意。
- 特殊仕様歓迎
- コート品・高面精度・高圧用・レンズ・ウェッジ・ブリュスター等。
- 検査成績書提出
- Heリーク、フード法室温実施。
※仕様の打ち合わせについては、当社までご連絡ください。
「日本原子力研究開発機構」と共同開発した世界で唯一無二の最大径超高真空窓(メタルシール)です。大出力・大口径・照射むらなしのキセノンランプ(172nm)光源用の窓として最適です。
光洗浄でなくてはならないキセノン光源は、瞬時にシリコンウエハーの洗浄・改質は勿論、FPD及び太陽電池等の洗浄・改質等もできます。生産性の大幅な向上は勿論、品質をより高めて、歩留まりの顕著な改善にも役立つものと確信しております。
※写真のフランジはCF(両エッジ型)になっていますが、他のフランジ、特殊仕様も可能です。
主要用途
- 半導体製造装置のウエハー洗浄及び表面改質用大出力キセノンランプ用
- 太陽電池製造装置の洗浄及び表面改質用大出力キセノンランプ用
- FPD製造装置の洗浄及び表面改質用大出力キセノンランプ用
- 有機EL製造装置の洗浄及び表面改質用大出力キセノンランプ用
- 大型放射光施設・大強度加速器施設・スイス(セルン)大型加速器施設等の加速器関連核融合施設・フランス国ITER機構、などの計測と観測用真空窓
特色
- 有効径はφ440mm以上も可能です。(世界最大)
- 窓材の脱着交換可能のため、大変経済的です。(世界初)
- スパッタなどで汚された場合は、窓材を外して、再研磨すれば、また新品同然になります。1回の再研磨は約0.2mmが減りますので、例えば予め窓材の厚さを余分5mm厚くしておくと、約25回の再研磨ができます。即ち一台の真空窓が概ね25台の真空窓に匹敵します。経済的で高いコストパフォーマンスを保証します。
- 窓材シール法(世界初)
- 弾性保持特殊メカニカルシールの為、フランジの歪みの影響を受け難く、窓材の歪み、破損、リークの発生が起こりにくい構造です。
- 熱歪みの無い窓(世界初)
- 熱的組立工程無しの為、より正確な透過波長が得られます。
- 放出ガス極少(世界初)
- 構造部材はSUSとAIのみ、且つ、樹脂類やシーラント剤等々有機物は一切用いておりません。また、真空容器内を汚染するZn及びPb等の高蒸気圧金属も一切使用しておりません。
- 非磁性、非放射化(世界初)
- 強磁性で強放射化金属であるコバール金属、或いはインバー等は使用しておりません。
- 超大径にも関わらずベーキングOK(世界初)
- 窓材とフランジとの熱膨張差を吸収する自己補正機能を付設しておりますので、超大径にも関わらず、ベーキングはOKです。但し、ベーキング温度によっては水冷構造とする場合があります。
- 真空領域
- ＜10-12Torrの超高真空領域で使用できます。(フランジ両面側ともOKです)
- Heリーク量
- ＜0.1×10-10Pam3/sec.
- FPDの如きワークの面積が広い場合、光源ランプを交互縦列配置し、ワークを平行移動させれば広い面積でも均一照射可能です。
VX型仕様(参考例)
| 型名 |
VX305W |
VX406W |
VX506W |
VX606W |
| 有効径 |
～170mm |
～220mm |
～340mm |
～440mm |
| 窓材質 |
Suprasil-f310, 172nm, 透過率≒86％ |
| 窓厚さ |
7mm |
9mm |
13mm |
20mm |
| レングスmm |
≒18.5 |
≒19 |
≒18.5 |
≒20 |
| 水冷ジャケット |
有り |
有り |
有り |
有り |
| 対応ウエハー |
6inch |
8inch |
12inch |
16inch |
| フランジサイズ |
φ305×44mm |
φ406×47mm |
φ506×50mm |
φ606×60mm |
※上記は一例です。仕様の変更が可能ですので詳細につきましては、当社までお問い合わせ下さい。
株式会社渋谷光学