熱歪みのない窓。高精度計測・レーザー導入用
日本、アメリカ、EU、ロシア、中国、韓国の6極で推進中の国際熱核融合実験炉(ITER)の計測用超高真空窓としての過酷採用基準を世界唯一クリア。超高真空窓は真空容器内を観察(計測)するための窓で、各種の結晶窓材および石英窓材等を弾性構造の金属に圧着してマウントする特殊シール技術により、超高真空領域までの使用が可能です。
※(独)日本原子力研究開発機構と共同開発 PAT・P
装着窓材種別(各種コート及び高精度研磨可能)
CaF2、MgF2、Lif、Ge、Si、KRS-5、BK7、水晶、合成石英、鉛ガラス、サファイア等
標準品
| 型番 |
フランジ外径 |
フランジ厚さ |
窓有効径 |
≒レングス |
| TF70 |
70 |
12.7 |
33 |
4 |
| TF70W |
70 |
18.5 |
33 |
9 |
| TF114 |
114 |
17.5 |
60 |
6 |
※レングスは窓材各種に異なる場合があります。
※製品改良の為、予告なく仕様・形状・寸法を変更する場合があります。
特色
- 超大径も製作可能です。
- 窓に熱歪み無し
- 熱的組立工程無しの為、歪みの無い高精度透過波長が得られます。
- 面精度維持
- 例、λ/10窓を組立後、外周を除く≒80％の面積でλ/10を維持できます。(標準品は両面光学研磨です)
- ARコート等
- 窓単体でコート後、熱的工程無しで組立の為、斑がありません。透過波長あるいは透過波長帯域及びご希望透過率をお知らせ下さい。
- 割れ防止構造
- 窓は弾性保持の為、不均等ボルト締めでも割れやリークが起き難い。
- 耐圧構造
- 真空側がプラス圧になってもリークや窓の外れ等が無い構造です。
- 非磁性、非放射化
- 磁場を乱さず高放射線環境下で最適使用できます。(標準フランジ：SUS304L、特注品：SUS316L等)
- 耐放射線性
- ガンマー線1×106レントゲン/hで合計6.3×109以上。(但し、ZnSeの場合)
- 耐衝撃性
- XYZ方向30G/3000サイクル以上。
- Heリーク量
- ＜1×10-10Pam3/sec 実績として殆ど＜0.1×10-10Pam3/secです。
- ベーク温度
- ＜200℃ 但し、メカニカルシールの為、サイズ及び窓材種別によって異なるものがあります。お問い合わせ下さい。
- 接続フランジ
- CF規格フランジ
- 透過波長帯域
- 紫外線～可視光～赤外域の真空導入を可能にする各種の窓を用意。
- 特殊仕様歓迎
- コート品・高面精度・高圧用・レンズ・ウェッジ・ブリュスター等。
- 検査成績書提出
- Heリーク、フード法室温実施。
※仕様の打ち合わせについては、当社までご連絡ください。
株式会社渋谷光学