超短パルス YAG & Yb レーザー｜レーザー関連

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超短パルス YAG & Yb レーザー

超短パルス YAG & Yb レーザー

レーザー微細加工の高スループット化に新しいソリューション　Leonisシリーズ/Herculesシリーズ

こんな加工がしたい・カスタムはできますか・どのレーザーを選べば良いですか等々
レーザー加工に関するお困り事なら渋谷光学へご相談ください。

SUPER WAVE社について▼
ピコ秒レーザー▼
フェムト秒レーザー▼

SUPER WAVE社について

SUPER WAVE社（以下、当社）は2018年に設立され、北京経済技術開発区に位置しています。超短パルスレーザーおよび関連製品の専門メーカーであり、2020年に国家ハイテク企業に認定され、2021年には北京市の「専門特新」中小企業にも選出されました。

設立以来、優れた超短パルスレーザーを世界のマイクロナノ加工分野に提供するという使命を掲げ、国内外のレーザー分野でトップクラスの有名企業になることを目指しています。当社が開発した超短パルスレーザーは、主に産業用超精密加工分野で使用されており、ピコ秒およびフェムト秒のシリーズで十数種類にわたる製品を提供しています。また、ユーザーのニーズに合わせたカスタマイズにも対応しています。

当社は光学、機械、電子、制御のぞれの分野で10年以上の経験をもった研究開発チームを擁し、ユーザー様に価値を提供出来るバックグランドをもっています。クラス1000の2000平方メートル以上のクリーンルームを備え、当社のコア技術チームは年間1000台（セット）の各種レーザーを生産する経験と能力を備えています。
また、常に顧客中心の姿勢を堅持し、高品質な製品と一流のサービスを提供し続けています。今後もユーザー、サプライヤー、パートナー、研究機関と共にウィンウィンのエコシステムを構築し、技術の進歩と産業発展に取り組んでまいります。

ピコ秒レーザー

パルス幅が1兆分の1秒（10^-12秒）で、高精度な微細加工に適しています。熱に敏感な材料の加工に優れ、ポリマーやセラミックの加工に利用されます。用途としては、微細加工、薄膜パターニング、美容医療（シミ除去など）があります。

IRレーザー

透明材料の精密なレーザー加工においては、ミクロな非熱的アブレーションを起こすフェムト秒レーザーをワーク側で蓄熱が起こる限界の高繰り返しで照射するアプローチがトレンドとなっています。
また従来のデブリやクラックが発生すること無く最大限のアブレーション量が得られるパルス幅とエネルギーを持つピコ秒レーザーは高スループットに向けた高エネルギー＆高繰り返し発振が開発されています。

IRハイパワーレーザー▼
IRハイエネルギーレーザー▼
IRスタンダードレーザー▼

グリーンレーザー・UVレーザー

可視域や紫外域に吸収を持つ色付き材料の精密なレーザー加工においては、非線形光学結晶を用いた第二高調波（532nm、515nm）第三高調波(355nm,343nm)のパルスレーザーの照射が有効となります。ワークにより異なる吸収率や残留熱の緩和時間に合わせて波長、エネルギー、パルス幅、照射方法（バースト照射、PODパルスオンデマンド）を活用する事でMAXのスループットを得る事が可能です。

型番	Leonis-1064-200	Leonis-1064-300	Leonis-1064-400	Leonis-1064-500
出力	200W@1MHz	300W@3.2MHz	400W@3.2MHz	500W@5MHz
中心波長	1064nm	1064nm	1064nm	1064nm
繰り返し	1Hz～5MHz	1Hz～5MHz	1Hz～5MHz	1Hz～5MHz
パルスエネルギー	≧200uJ	≧100uJ	≧120uJ	≧100uJ
出力安定性	≦1％（8hours,RMS）	≦1％（8hours,RMS）	≦1％（8hours,RMS）	≦1％（8hours,RMS）
ビーム品質	M²≦1.3	M²≦1.3	M²≦1.3	M²≦1.3
広がり角（全角）	≦1.0mrad	≦1.0mrad	≦1.0mrad	≦1.0mrad
ビーム径	～3.0mm カスタマイズ可能	～3.5mm カスタマイズ可能	～3.5mm カスタマイズ可能	～3.5mm カスタマイズ可能
真円率（ニアフィールド）	≧90％	≧90％	≧90％	≧90％
真円率（ファーフィールド）	≧90％	≧90％	≧90％	≧90％
パルス幅	≦10ps（Gaussian）	≦10ps（Gaussian）	≦10ps（Gaussian）	≦10ps（Gaussian）
偏光（直線）	Vertical	Vertical	Vertical	Vertical
外部制御	POD&PSO&GATE	POD&PSO&GATE	POD&PSO&GATE	POD&PSO&GATE
バーストモード	Burst1～10	Burst1～10	Burst3～10	Burst3～10

型番	Leonis-1064-50	Leonis-1064-60	Leonis-1064-80	Leonis-1064-100
出力	50W@50kHz	60W@20kHz	80W@20kHz	100W@30kHz
中心波長	1064nm	1064nm	1064nm	1064nm
繰り返し	1Hz～1MHz	1Hz～1MHz	1Hz～1MHz	1Hz～2MHz
パルスエネルギー	≧1mJ	≧3mJ	≧4mJ	≧3mJ
出力安定性	≦1％（8hours,RMS）	≦1％（8hours,RMS）	≦1％（8hours,RMS）	≦1％（8hours,RMS）
ビーム品質	M²≦1.3	M²≦1.3	M²≦1.3	M²≦1.3
広がり角（全角）	≦1.0mrad	≦1.0mrad	≦1.0mrad	≦1.0mrad
ビーム径	～3.0mm カスタマイズ可能	～3.0mm カスタマイズ可能	～3.0mm カスタマイズ可能	～3.0mm カスタマイズ可能
真円率（ニアフィールド）	≧90％	≧90％	≧90％	≧90％
真円率（ファーフィールド）	≧90％	≧90％	≧90％	≧90％
パルス幅	≦10ps（Gaussian）	≦15ps（Gaussian）	≦20ps（Gaussian）	≦20ps（Gaussian）
偏光（直線）	Vertical	Vertical	Vertical	Vertical
外部制御	POD&PSO&GATE	POD&PSO&GATE	POD&PSO&GATE	POD&PSO&GATE
バーストモード	Burst2～5	Burst4～6	Burst5～6	Burst4～6

型番	Leonis-1064-15	Leonis-1064-30
出力	15W@1MHz	30W@5MHz
中心波長	1064nm	1064nm
繰り返し	1Hz～1MHz	1Hz～1MHz
パルスエネルギー	≧150uJ	≧300uJ
出力安定性	≦1％（8hours,RMS）	≦1％（8hours,RMS）
ビーム品質	M²≦1.3	M²≦1.3
広がり角（全角）	≦1.0mrad	≦1.0mrad
ビーム径	～2.0mm　カスタマイズ可能	～3.0mm　カスタマイズ可能
真円率（ニアフィールド）	≧90％	≧90％
真円率（ファーフィールド）	≧90％	≧90％
パルス幅	≦10ps（Gaussian）	≦10ps（Gaussian）
偏光（直線）	Vertical	Vertical
外部制御	POD&PSO&GATE	POD&PSO&GATE
バーストモード	Burst1～5	Burst3～5

型番	Leonis-532-30	Leonis-532-60	Leonis-532-120	Leonis-532-200	Leonis-532-300
出力	30W@100kHz	60W@200kHz	120W@400kHz	200W@1MHz	300W@1MHz
中心波長	532nm	532nm	532nm	532nm	532nm
繰り返し	1Hz～2MHz	1Hz～2MHz	1Hz～2MHz	1Hz～2MHz	1Hz～2MHz
パルスエネルギー	≧300uJ	≧300uJ	≧300uJ	≧200uJ	≧300uJ
出力安定性	≦2％（8hours,RMS）	≦2％（8hours,RMS）	≦1％（8hours,RMS）	≦2％（8hours,RMS）	≦2％（8hours,RMS）
ビーム品質	M²≦1.3	M²≦1.3	M²≦1.3	M²≦1.3	M²≦1.3
広がり角（全角）	≦1.0mrad	≦1.0mrad	≦1.0mrad	≦1.0mrad	≦1.0mrad
ビーム径	～1.5mm カスタマイズ可能	～2.0mm カスタマイズ可能	～3.0mm カスタマイズ可能	～2.0mm カスタマイズ可能	～3.0mm カスタマイズ可能
真円率（ニアフィールド）	≧90％	≧90％	≧90％	≧90％	≧90％
真円率（ファーフィールド）	≧90％	≧90％	≧90％	≧90％	≧90％
パルス幅	≦7ps （Gaussian）	≦15ps （Gaussian）	≦15ps （Gaussian）	≦15ps （Gaussian）	≦20ps （Gaussian）
偏光（直線）	Horizontal	Horizontal	Horizontal	Horizontal	Horizontal
外部制御	POD&PSO&GATE	POD&PSO&GATE	POD&PSO&GATE	POD&PSO&GATE	POD&PSO&GATE
バーストモード	Burst1～5	Burst1～5	Burst1～3	Burst1～5	Burst1～5

型番	Leonis-355-5	Leonis-355-20	Leonis-355-30
出力	5W@300kHz	20W@1MHz	30W@1MHz
中心波長	355nm	355nm	355nm
繰り返し	1Hz～2MHz	1Hz～2MHz	1Hz～2MHz
パルスエネルギー	≧15uJ	≧20uJ	≧30uJ
出力安定性	≦1％（8hours,RMS）	≦1％（8hours,RMS）	≦2％（8hours,RMS）
ビーム品質	M²≦1.3	M²≦1.3	M²≦1.3
広がり角（全角）	≦1.0mrad	≦1.0mrad	≦1.0mrad
ビーム径	～2.0mm　カスタマイズ可能	～2.0mm　カスタマイズ可能	～2.5mm　カスタマイズ可能
真円率（ニアフィールド）	≧90％	≧90％	≧90％
真円率（ファーフィールド）	≧90％	≧90％	≧90％
パルス幅	≦7ps（Gaussian）	≦7ps（Gaussian）	≦7ps（Gaussian）
偏光（直線）	Horizontal	Horizontal	Horizontal
外部制御	POD&PSO&GATE	POD&PSO&GATE	POD&PSO&GATE
バーストモード	Burst1～5	Burst1～5	Burst1～5

型番	Leonis-355-60	Leonis-355-100	Leonis-355-150
出力	60W@2MHz	100W@3.2MHz	150W@1.5MHz
中心波長	355nm	355nm	355nm
繰り返し	1Hz～6MHz	1Hz～2MHz	1Hz～2MHz
パルスエネルギー	≧30uJ	≧30uJ	≧100uJ
出力安定性	≦2％（8hours,RMS）	≦2％（8hours,RMS）	≦2％（8hours,RMS）
ビーム品質	M²≦1.3	M²≦1.3	M²≦1.3
広がり角（全角）	≦1.0mrad	≦1.0mrad	≦1.0mrad
ビーム径	～2.5mm　カスタマイズ可能	～3.0mm　カスタマイズ可能	～3.0mm　カスタマイズ可能
真円率（ニアフィールド）	≧90％	≧85％	≧85％
真円率（ファーフィールド）	≧90％	≧85％	≧85％
パルス幅	≦7ps（Gaussian）	≦8ps（Gaussian）	≦15ps（Gaussian）
偏光（直線）	Horizontal	Horizontal	Horizontal
外部制御	POD&PSO&GATE	POD&PSO&GATE	POD&PSO&GATE
バーストモード	Burst1～3	Burst1～3	Burst1～3

型番	Hercules-1030-10	Hercules-1030-50	Hercules-1030-80	Hercules-1030-150	Hercules-1030-300
出力	10W@100kHz	50W@200kHz	80W@200kHz	150W@1MHz	300W@1MHz
中心波長	1030nm	1030nm	1030nm	1030nm	1030nm
繰り返し	1Hz～2MHz	1Hz～2MHz	1Hz～2MHz	1Hz～2MHz	1Hz～2MHz
パルスエネルギー	≧100uJ	≧250uJ	≧400uJ	≧150uJ	≧300uJ※
出力安定性	≦1％（8hours,RMS）	≦1％（8hours,RMS）	≦1％（8hours,RMS）	≦1％（8hours,RMS）	≦1％（8hours,RMS）
ビーム品質	M²≦1.3	M²≦1.3	M²≦1.3	M²≦1.3	M²≦1.3
広がり角（全角）	≦1.0mrad	≦1.0mrad	≦1.0mrad	≦1.0mrad	≦1.0mrad
ビーム径	～3.0mm カスタマイズ可能	～3.0mm カスタマイズ可能	～3.0mm カスタマイズ可能	～3.0mm カスタマイズ可能	～3.0mm カスタマイズ可能
真円率（ニアフィールド）	≧90％	≧90％	≧90％	≧90％	≧90％
真円率（ファーフィールド）	≧90％	≧90％	≧90％	≧90％	≧90％
パルス幅	≦500fs（Sech2）	≦600fs（Sech2）	≦600fs（Sech2）	≦600fs（Sech2）	≦400fs（Sech2）
偏光（直線）	Vertical	Vertical	Vertical	Vertical	Vertical
外部制御	POD&PSO&GATE	POD&PSO&GATE	POD&PSO&GATE	POD&PSO&GATE	POD&PSO&GATE
バーストモード	Burst1～5	Burst1～5	Burst1～5	Burst1～5	Burst1～5

型番	Hercules-515-15	Hercules-515-45	Hercules-515-60	Hercules-515-120
出力	15W@200kHz	45W@200kHz	60W@200kHz	120W@200kHz
中心波長	515nm	515nm	515nm	515nm
繰り返し	1Hz～2MHz	1Hz～2MHz	1Hz～2MHz	1Hz～2MHz
パルスエネルギー	≧75uJ	≧200uJ	≧300uJ	≧120uJ
出力安定性	≦1％（8hours,RMS）	≦1％（8hours,RMS）	≦2％（8hours,RMS）	≦2％（8hours,RMS）
ビーム品質	M²≦1.3	M²≦1.3	M²≦1.3	M²≦1.3
広がり角（全角）	≦1.0mrad	≦1.0mrad	≦1.0mrad	≦1.0mrad
ビーム径	～2.5mm カスタマイズ可能	～2.5mm カスタマイズ可能	～2.5mm カスタマイズ可能	～2.5mm カスタマイズ可能
真円率（ニアフィールド）	≧90％	≧90％	≧90％	≧90％
真円率（ファーフィールド）	≧90％	≧90％	≧90％	≧90％
パルス幅	≦500fs（Sech2）	≦500fs（Sech2）	≦500fs（Sech2）	≦500fs（Sech2）
偏光（直線）	Horizontal	Horizontal	Horizontal	Horizontal
外部制御	POD&PSO&GATE	POD&PSO&GATE	POD&PSO&GATE	POD&PSO&GATE
バーストモード	Burst1～5	Burst1～5	Burst1～3	Burst1～3

型番	Hercules-343-30	Hercules-343-50
出力	30W@1MHz	50W@1MHz
中心波長	343nm	343nm
繰り返し	1Hz～2MHz	1Hz～2MHz
パルスエネルギー	≧30uJ	≧50uJ
出力安定性	≦2％（8hours,RMS）	≦2％（8hours,RMS）
ビーム品質	M²≦1.3	M²≦1.3
広がり角（全角）	≦1.0mrad	≦1.0mrad
ビーム径	～2.5mm　カスタマイズ可能	～2.5mm　カスタマイズ可能
真円率（ニアフィールド）	≧90％	≧90％
真円率（ファーフィールド）	≧90％	≧90％
パルス幅	≦500fs（Sech2）	≦500fs（Sech2）
偏光（直線）	Vertical	Vertical
外部制御	POD&PSO&GATE	POD&PSO&GATE
バーストモード	Burst1～3	Burst1～3