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超短パルス YAG & Yb レーザー

レーザー微細加工の高スループット化に新しいソリューション　Leonisシリーズ/Herculesシリーズ

こんな加工がしたい・カスタムはできますか・どのレーザーを選べば良いですか等々、
レーザー加工に関するお困り事なら渋谷光学へご相談ください。

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SUPER WAVE社について

SUPER WAVE社（以下、当社）は2018年に設立され、北京経済技術開発区に位置しています。 超短パルスレーザーおよび関連製品の専門メーカーであり、2020年に国家ハイテク企業に認定され、2021年には北京市の「専門特新」中小企業にも選出されました。

設立以来、優れた超短パルスレーザーを世界のマイクロナノ加工分野に提供するという使命を掲げ、国内外のレーザー分野でトップクラスの有名企業になることを目指しています。 当社が開発した超短パルスレーザーは、主に産業用超精密加工分野で使用されており、ピコ秒およびフェムト秒のシリーズで十数種類にわたる製品を提供しています。 また、ユーザーのニーズに合わせたカスタマイズにも対応しています。

当社は光学、機械、電子、制御のぞれの分野で10年以上の経験をもった研究開発チームを擁し、ユーザー様に価値を提供出来るバックグランドをもっています。 クラス1000の2000平方メートル以上のクリーンルームを備え、 当社のコア技術チームは年間1000台（セット）の各種レーザーを生産する経験と能力を備えています。
また、 常に顧客中心の姿勢を堅持し、高品質な製品と一流のサービスを提供し続けています。 今後もユーザー、サプライヤー、パートナー、研究機関と共にウィンウィンのエコシステムを構築し、技術の進歩と産業発展に取り組んでまいります。

SUPER WAVE社

IRレーザー

透明材料の精密なレーザー加工においては、ミクロな非熱的アブレーションを起こすフェムト秒レーザーをワーク側で蓄熱が起こる限界の高繰り返しで照射するアプローチがトレンドとなっています。
また従来のデブリやクラックが発生すること無く最大限のアブレーション量が得られるパルス幅とエネルギーを持つピコ秒レーザーは高スループットに向けた高エネルギー＆高繰り返し発振が開発されています。

ピコ秒 IRハイパワーレーザー

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ビームプロファイル 500W（典型値）

ビームプロファイル 500W（典型値）

仕様

型番 Leonis-1064-200 Leonis-1064-300 Leonis-1064-400 Leonis-1064-500
出力 200W@1MHz 300W@3.2MHz 400W@3.2MHz 500W@5MHz
中心波長 1064nm 1064nm 1064nm 1064nm
繰り返し 1Hz～5MHz 1Hz～5MHz 1Hz～5MHz 1Hz～5MHz
パルスエネルギー ≧200uJ ≧100uJ ≧120uJ ≧100uJ
出力安定性 ≦1％（8hours,RMS） ≦1％（8hours,RMS） ≦1％（8hours,RMS） ≦1％（8hours,RMS）
ビーム品質 M2≦1.3 M2≦1.3 M2≦1.3 M2≦1.3
広がり角（全角） ≦1.0mrad ≦1.0mrad ≦1.0mrad ≦1.0mrad
ビーム径 ～3.0mm
カスタマイズ可能		 ～3.5mm
カスタマイズ可能		 ～3.5mm
カスタマイズ可能		 ～3.5mm
カスタマイズ可能
真円率
（ニアフィールド）		 ≧90％ ≧90％ ≧90％ ≧90％
真円率
（ファーフィールド）		 ≧90％ ≧90％ ≧90％ ≧90％
パルス幅 ≦10ps（Gaussian） ≦10ps（Gaussian） ≦10ps（Gaussian） ≦10ps（Gaussian）
偏光（直線） Vertical Vertical Vertical Vertical
外部制御 POD&PSO&GATE POD&PSO&GATE POD&PSO&GATE POD&PSO&GATE
バーストモード Burst1～10 Burst1～10 Burst3～10 Burst3～10
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ピコ秒 IRハイエネルギーレーザー

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ビームプロファイル 100W（典型値）

ビームプロファイル 100W（典型値）

仕様

型番 Leonis-1064-50 Leonis-1064-60 Leonis-1064-80 Leonis-1064-100
出力 50W@50kHz 60W@20kHz 80W@20kHz 100W@30kHz
中心波長 1064nm 1064nm 1064nm 1064nm
繰り返し 1Hz～1MHz 1Hz～1MHz 1Hz～1MHz 1Hz～2MHz
パルスエネルギー ≧1mJ ≧3mJ ≧4mJ ≧3mJ
出力安定性 ≦1％（8hours,RMS） ≦1％（8hours,RMS） ≦1％（8hours,RMS） ≦1％（8hours,RMS）
ビーム品質 M2≦1.3 M2≦1.3 M2≦1.3 M2≦1.3
広がり角（全角） ≦1.0mrad ≦1.0mrad ≦1.0mrad ≦1.0mrad
ビーム径 ～3.0mm
カスタマイズ可能		 ～3.0mm
カスタマイズ可能		 ～3.0mm
カスタマイズ可能		 ～3.0mm
カスタマイズ可能
真円率
（ニアフィールド）		 ≧90％ ≧90％ ≧90％ ≧90％
真円率
（ファーフィールド）		 ≧90％ ≧90％ ≧90％ ≧90％
パルス幅 ≦10ps（Gaussian） ≦15ps（Gaussian） ≦20ps（Gaussian） ≦20ps（Gaussian）
偏光（直線） Vertical Vertical Vertical Vertical
外部制御 POD&PSO&GATE POD&PSO&GATE POD&PSO&GATE POD&PSO&GATE
バーストモード Burst2～5 Burst4～6 Burst5～6 Burst4～6
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ピコ秒 IR スタンダードレーザー

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ビームプロファイル 30W（典型値）

ビームプロファイル 30W（典型値）

仕様

型番 Leonis-1064-15 Leonis-1064-30
出力 15W@1MHz 30W@5MHz
中心波長 1064nm 1064nm
繰り返し 1Hz～1MHz 1Hz～1MHz
パルスエネルギー ≧150uJ ≧300uJ
出力安定性 ≦1％（8hours,RMS） ≦1％（8hours,RMS）
ビーム品質 M2≦1.3 M2≦1.3
広がり角（全角） ≦1.0mrad ≦1.0mrad
ビーム径 ～2.0mm　カスタマイズ可能 ～3.0mm　カスタマイズ可能
真円率（ニアフィールド） ≧90％ ≧90％
真円率（ファーフィールド） ≧90％ ≧90％
パルス幅 ≦10ps（Gaussian） ≦10ps（Gaussian）
偏光（直線） Vertical Vertical
外部制御 POD&PSO&GATE POD&PSO&GATE
バーストモード Burst1～5 Burst3～5
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フェムト秒 IR ハイパワーレーザー

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ビームプロファイル 300W（典型値）

ビームプロファイル 300W（典型値）

仕様

型番 Hercules-1030-10 Hercules-1030-50 Hercules-1030-80 Hercules-1030-150 Hercules-1030-300
出力 10W@100kHz 50W@200kHz 80W@200kHz 150W@1MHz 300W@1MHz
中心波長 1030nm 1030nm 1030nm 1030nm 1030nm
繰り返し 1Hz～2MHz 1Hz～2MHz 1Hz～2MHz 1Hz～2MHz 1Hz～2MHz
パルスエネルギー ≧100uJ ≧250uJ ≧400uJ ≧150uJ ≧300uJ※
出力安定性 ≦1％
（8hours,RMS）		 ≦1％
（8hours,RMS）		 ≦1％
（8hours,RMS）		 ≦1％
（8hours,RMS）		 ≦1％
（8hours,RMS）
ビーム品質 M2≦1.3 M2≦1.3 M2≦1.3 M2≦1.3 M2≦1.3
広がり角（全角） ≦1.0mrad ≦1.0mrad ≦1.0mrad ≦1.0mrad ≦1.0mrad
ビーム径 ～3.0mm
カスタマイズ可能		 ～3.0mm
カスタマイズ可能		 ～3.0mm
カスタマイズ可能		 ～3.0mm
カスタマイズ可能		 ～3.0mm
カスタマイズ可能
真円率
（ニアフィールド）		 ≧90％ ≧90％ ≧90％ ≧90％ ≧90％
真円率
（ファーフィールド）		 ≧90％ ≧90％ ≧90％ ≧90％ ≧90％
パルス幅 ≦500fs（Sech2） ≦600fs（Sech2） ≦600fs（Sech2） ≦600fs（Sech2） ≦400fs（Sech2）
偏光（直線） Vertical Vertical Vertical Vertical Vertical
外部制御 POD&PSO&GATE POD&PSO&GATE POD&PSO&GATE POD&PSO&GATE POD&PSO&GATE
バーストモード Burst1～5 Burst1～5 Burst1～5 Burst1～5 Burst1～5
※(MAX：2mJカスタマイズ可能)
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グリーンレーザー・UVレーザー

可視域や紫外域に吸収を持つ色付き材料の精密なレーザー加工においては、非線形光学結晶を用いた第二高調波（532nm、515nm）第三高調波(355nm,343nm)のパルスレーザーの照射が有効となります。 ワークにより異なる吸収率や残留熱の緩和時間に合わせて波長、エネルギー、パルス幅、照射方法（バースト照射、PODパルスオンデマンド）を活用する事でMAXのスループットを得る事が可能です。

ピコ秒 グリーンレーザー

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ビームプロファイル 300W（典型値）

ビームプロファイル 300W（典型値）

仕様

型番 Leonis-532-30 Leonis-532-60 Leonis-532-120 Leonis-532-200 Leonis-532-300
出力 30W@100kHz 60W@200kHz 120W@400kHz 200W@1MHz 300W@1MHz
中心波長 532nm 532nm 532nm 532nm 532nm
繰り返し 1Hz～2MHz 1Hz～2MHz 1Hz～2MHz 1Hz～2MHz 1Hz～2MHz
パルスエネルギー ≧300uJ ≧300uJ ≧300uJ ≧200uJ ≧300uJ
出力安定性 ≦2％
（8hours,RMS）		 ≦2％
（8hours,RMS）		 ≦1％
（8hours,RMS）		 ≦2％
（8hours,RMS）		 ≦2％
（8hours,RMS）
ビーム品質 M2≦1.3 M2≦1.3 M2≦1.3 M2≦1.3 M2≦1.3
広がり角（全角） ≦1.0mrad ≦1.0mrad ≦1.0mrad ≦1.0mrad ≦1.0mrad
ビーム径 ～1.5mm
カスタマイズ可能		 ～2.0mm
カスタマイズ可能		 ～3.0mm
カスタマイズ可能		 ～2.0mm
カスタマイズ可能		 ～3.0mm
カスタマイズ可能
真円率
（ニアフィールド）		 ≧90％ ≧90％ ≧90％ ≧90％ ≧90％
真円率
（ファーフィールド）		 ≧90％ ≧90％ ≧90％ ≧90％ ≧90％
パルス幅 ≦7ps
（Gaussian）		 ≦15ps
（Gaussian）		 ≦15ps
（Gaussian）		 ≦15ps
（Gaussian）		 ≦20ps
（Gaussian）
偏光（直線） Horizontal Horizontal Horizontal Horizontal Horizontal
外部制御 POD&PSO&GATE POD&PSO&GATE POD&PSO&GATE POD&PSO&GATE POD&PSO&GATE
バーストモード Burst1～5 Burst1～5 Burst1～3 Burst1～5 Burst1～5
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フェムト秒 グリーンレーザー

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ビームプロファイル 120W（典型値）

ビームプロファイル 120W（典型値）

仕様

型番 Hercules-515-15 Hercules-515-45 Hercules-515-60 Hercules-515-120
出力 15W@200kHz 45W@200kHz 60W@200kHz 120W@200kHz
中心波長 515nm 515nm 515nm 515nm
繰り返し 1Hz～2MHz 1Hz～2MHz 1Hz～2MHz 1Hz～2MHz
パルスエネルギー ≧75uJ ≧200uJ ≧300uJ ≧120uJ
出力安定性 ≦1％（8hours,RMS） ≦1％（8hours,RMS） ≦2％（8hours,RMS） ≦2％（8hours,RMS）
ビーム品質 M2≦1.3 M2≦1.3 M2≦1.3 M2≦1.3
広がり角（全角） ≦1.0mrad ≦1.0mrad ≦1.0mrad ≦1.0mrad
ビーム径 ～2.5mm
カスタマイズ可能		 ～2.5mm
カスタマイズ可能		 ～2.5mm
カスタマイズ可能		 ～2.5mm
カスタマイズ可能
真円率
（ニアフィールド）		 ≧90％ ≧90％ ≧90％ ≧90％
真円率
（ファーフィールド）		 ≧90％ ≧90％ ≧90％ ≧90％
パルス幅 ≦500fs（Sech2） ≦500fs（Sech2） ≦500fs（Sech2） ≦500fs（Sech2）
偏光（直線） Horizontal Horizontal Horizontal Horizontal
外部制御 POD&PSO&GATE POD&PSO&GATE POD&PSO&GATE POD&PSO&GATE
バーストモード Burst1～5 Burst1～5 Burst1～3 Burst1～3
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ピコ秒 UVレーザー

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ビームプロファイル 150W（典型値）

ビームプロファイル 150W（典型値）

仕様

型番 Leonis-355-5 Leonis-355-20 Leonis-355-30
出力 5W@300kHz 20W@1MHz 30W@1MHz
中心波長 355nm 355nm 355nm
繰り返し 1Hz～2MHz 1Hz～2MHz 1Hz～2MHz
パルスエネルギー ≧15uJ ≧20uJ ≧30uJ
出力安定性 ≦1％（8hours,RMS） ≦1％（8hours,RMS） ≦2％（8hours,RMS）
ビーム品質 M2≦1.3 M2≦1.3 M2≦1.3
広がり角（全角） ≦1.0mrad ≦1.0mrad ≦1.0mrad
ビーム径 ～2.0mm　カスタマイズ可能 ～2.0mm　カスタマイズ可能 ～2.5mm　カスタマイズ可能
真円率（ニアフィールド） ≧90％ ≧90％ ≧90％
真円率（ファーフィールド） ≧90％ ≧90％ ≧90％
パルス幅 ≦7ps（Gaussian） ≦7ps（Gaussian） ≦7ps（Gaussian）
偏光（直線） Horizontal Horizontal Horizontal
外部制御 POD&PSO&GATE POD&PSO&GATE POD&PSO&GATE
バーストモード Burst1～5 Burst1～5 Burst1～5
型番 Leonis-355-60 Leonis-355-100 Leonis-355-150
出力 60W@2MHz 100W@3.2MHz 150W@1.5MHz
中心波長 355nm 355nm 355nm
繰り返し 1Hz～6MHz 1Hz～2MHz 1Hz～2MHz
パルスエネルギー ≧30uJ ≧30uJ ≧100uJ
出力安定性 ≦2％（8hours,RMS） ≦2％（8hours,RMS） ≦2％（8hours,RMS）
ビーム品質 M2≦1.3 M2≦1.3 M2≦1.3
広がり角（全角） ≦1.0mrad ≦1.0mrad ≦1.0mrad
ビーム径 ～2.5mm　カスタマイズ可能 ～3.0mm　カスタマイズ可能 ～3.0mm　カスタマイズ可能
真円率（ニアフィールド） ≧90％ ≧85％ ≧85％
真円率（ファーフィールド） ≧90％ ≧85％ ≧85％
パルス幅 ≦7ps（Gaussian） ≦8ps（Gaussian） ≦15ps（Gaussian）
偏光（直線） Horizontal Horizontal Horizontal
外部制御 POD&PSO&GATE POD&PSO&GATE POD&PSO&GATE
バーストモード Burst1～3 Burst1～3 Burst1～3
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フェムト秒 UVレーザー

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適応素材
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ビームプロファイル 50W（典型値）

ビームプロファイル 50W（典型値）

仕様

型番 Hercules-343-30 Hercules-343-50
出力 30W@1MHz 50W@1MHz
中心波長 343nm 343nm
繰り返し 1Hz～2MHz 1Hz～2MHz
パルスエネルギー ≧30uJ ≧50uJ
出力安定性 ≦2％（8hours,RMS） ≦2％（8hours,RMS）
ビーム品質 M2≦1.3 M2≦1.3
広がり角（全角） ≦1.0mrad ≦1.0mrad
ビーム径 ～2.5mm　カスタマイズ可能 ～2.5mm　カスタマイズ可能
真円率（ニアフィールド） ≧90％ ≧90％
真円率（ファーフィールド） ≧90％ ≧90％
パルス幅 ≦500fs（Sech2） ≦500fs（Sech2）
偏光（直線） Vertical Vertical
外部制御 POD&PSO&GATE POD&PSO&GATE
バーストモード Burst1～3 Burst1～3
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